Thử nghiệm wafer

Được xây dựng dựa trên hơn 15 năm kinh nghiệm chuyên môn của Deaote trong lĩnh vực sản xuất khuôn mẫu chính xác và linh kiện chuyển động, thử nghiệm wafer có đế bằng đá granite cứng, cấu trúc ổn định nhiệt và thiết kế chống rung để đảm bảo hiệu suất ổn định trong môi trường phòng sạch (Lớp 100/1000). Nó hỗ trợ tích hợp liền mạch với máy dò wafer, kính hiển vi quang học, hệ thống ATE (Thiết bị kiểm tra tự động) và các công cụ thu thập dữ liệu, khiến nó trở nên lý tưởng cho cả hoạt động R&D và thử nghiệm sản xuất khối lượng lớn chip logic, thiết bị bộ nhớ, chất bán dẫn công suất và chất bán dẫn phức hợp (GaAs, SiC, GaN).

Thiết kế mô-đun của thử nghiệm tấm bán dẫn cho phép tùy chỉnh hoàn toàn phạm vi di chuyển, thông số tốc độ/gia tốc và giao diện điều khiển (GPIB, USB, Ethernet) để phù hợp với quy trình kiểm tra tấm bán dẫn cụ thể. Giải pháp của chúng tôi cho phép các nhà sản xuất chất bán dẫn đạt được độ chính xác thử nghiệm cao hơn, giảm tỷ lệ lỗi sai và cải thiện thông lượng—rất quan trọng để đáp ứng nhu cầu thu nhỏ và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo.

Ưu điểm cốt lõi

1. Độ chính xác căn chỉnh 4 trục Sub-Micron

Được trang bị bộ mã hóa tuyến tính có độ phân giải cao (độ phân giải 0,05μm) và động cơ mô-men truyền động trực tiếp cho trục Theta, nền tảng này đạt được độ chính xác định vị lặp lại ±0,5μm (X/Y), độ chính xác tuyệt đối ±1μm (X/Y), độ chính xác định vị trục Z ±2μm và độ chính xác góc 0,001° trục Theta. Điều này đảm bảo sự căn chỉnh chính xác giữa khuôn bán dẫn và đầu dò kiểm tra/quang học kiểm tra, loại bỏ các lỗi do lệch trục gây ra trong mô tả đặc tính điện và kiểm tra quang học.

2. Điều khiển chuyển động tốc độ cao và ổn định

Các thuật toán điều khiển chuyển động được tối ưu hóa và các đường dẫn hướng mang không khí cho phép chuyển động ở tốc độ cao (tốc độ tối đa X/Y: 150mm/s, tốc độ tối đa trục Z: 50mm/s) với thời gian ổn định cực thấp (<30ms đối với X/Y, ≤50ms đối với Z). Cơ chế truyền động không tiếp xúc giúp loại bỏ hao mòn cơ học và phản ứng ngược, đảm bảo độ ổn định chuyển động nhất quán qua hàng triệu chu kỳ—cần thiết cho thử nghiệm wafer thông lượng cao (lên tới 2500 khuôn mỗi giờ).

3. Thiết kế ổn định nhiệt và chống rung

Được xây dựng bằng nền đá granite tự nhiên (hệ số giãn nở nhiệt ≤0,5×10⁻⁶/oC) và hệ thống cách ly chống rung chủ động, nền tảng này giảm thiểu độ trôi vị trí do dao động nhiệt độ (≤0,1μm/oC) và rung động bên ngoài gây ra. Trục Z có bộ truyền động vít bi chính xác với khả năng bù tải trước để duy trì độ ổn định trong quá trình định vị thẳng đứng, rất quan trọng đối với việc kiểm soát lực tiếp xúc đầu dò (0,1g đến 100g) trong thử nghiệm tấm bán dẫn.

4. Khả năng tương thích và tính linh hoạt của wafer rộng

Thử nghiệm tấm bán dẫn hỗ trợ các kích thước tấm bán dẫn từ 4 inch đến 12 inch với mâm cặp chân không có thể điều chỉnh và cơ chế định tâm tự động, không cần thay thế thiết bị cố định tùy chỉnh. Nó phù hợp với độ dày tấm bán dẫn từ 50μm đến 800μm và tương thích với các tấm bán dẫn trần, các tấm bán dẫn có hoa văn và các gói cấp độ bán dẫn (WLP), thích ứng với các nhu cầu kiểm tra chất bán dẫn đa dạng (thử nghiệm tham số DC, kiểm tra RF, kiểm tra quang học).

5. Tương thích với phòng sạch và ít bảo trì

Được thiết kế để vận hành trong phòng sạch Cấp 100, thử nghiệm tấm bán dẫn có vỏ bọc kín với bộ lọc HEPA để ngăn chặn ô nhiễm hạt của tấm bán dẫn và thiết bị kiểm tra. Cấp bảo vệ IP54 và các bộ phận ổ trục không khí không cần bôi trơn giúp giảm yêu cầu bảo trì, kéo dài MTBF (Thời gian trung bình giữa các lần hỏng hóc) lên ≥35.000 giờ trong điều kiện vận hành tiêu chuẩn.

6. Dễ dàng tích hợp và tùy chỉnh

Tương thích với các giao thức truyền thông và phần mềm điều khiển tiêu chuẩn công nghiệp (GPIB, RS232, Ethernet/IP), nền tảng này tích hợp hoàn hảo với các hệ thống kiểm tra wafer hiện có. Suzhou Deoute cung cấp khả năng tùy chỉnh đầy đủ các phạm vi hành trình (X/Y: 100×100mm đến 300×300mm; Z: 50mm đến 150mm), phạm vi xoay trục Theta (±5° đến ±10°) và kiểm soát nhiệt độ mâm cặp (-40°C đến 200°C) để đáp ứng các yêu cầu riêng biệt của khách hàng.

Thông số kỹ thuật

Kịch bản ứng dụng

Được thiết kế để kiểm tra và thử nghiệm wafer 4 trục, nền tảng XYZT của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng bán dẫn sau:

● Thăm dò wafer: Đặc tính điện (DC/AC/RF) của chip logic, thiết bị bộ nhớ DRAM/NAND và chất bán dẫn điện (MOSFET, IGBT)

● Kiểm tra quang học: Phát hiện khuyết tật ở cấp độ wafer, căn chỉnh mẫu và đo lường để sản xuất chất bán dẫn tiên tiến

● Kiểm tra độ tin cậy: Chu kỳ nhiệt độ cao/thấp, thử nghiệm đốt cháy và mô tả đặc tính tuổi thọ của chất bán dẫn hỗn hợp (GaAs, SiC, GaN)

● Đóng gói cấp độ wafer (WLP): Căn chỉnh và liên kết các gói cấp độ wafer cho các ứng dụng điện tử tiêu dùng và ô tô

● Thử nghiệm R&D: Tạo nguyên mẫu và xác nhận các thiết kế chất bán dẫn mới trong môi trường phòng thí nghiệm (có thể tùy chỉnh để thử nghiệm lô nhỏ)

Về Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. là một doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu chuyên về R&D, sản xuất và bán các nền tảng chuyển động chính xác, khuôn mẫu tùy chỉnh và các thành phần thử nghiệm chất bán dẫn. Với hơn 15 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực sản xuất chính xác, chúng tôi phục vụ khách hàng toàn cầu trong lĩnh vực bán dẫn, điện tử và tự động hóa công nghiệp trên khắp Châu Âu, Bắc Mỹ, Châu Á và hơn thế nữa.

Nền tảng chuyển động kiểm tra XYZT của chúng tôi tận dụng năng lực cốt lõi của chúng tôi trong thiết kế khuôn chính xác và kỹ thuật điều khiển chuyển động để giải quyết những thách thức đặc biệt của thử nghiệm tấm bán dẫn. Chúng tôi cung cấp các giải pháp toàn diện—từ thiết kế nền tảng tùy chỉnh và tạo nguyên mẫu đến lắp đặt tại chỗ, hiệu chuẩn và hỗ trợ kỹ thuật trọn đời—đảm bảo sản phẩm của chúng tôi đáp ứng các tiêu chuẩn khắt khe nhất của ngành về độ chính xác và độ tin cậy.

Cam kết "Độ chính xác thúc đẩy tiến bộ, đổi mới tạo ra giá trị", Deaote được chứng nhận ISO 9001:2015 và đầu tư 15% doanh thu hàng năm vào R&D để phát triển các giải pháp chuyển động thế hệ tiếp theo cho ngành bán dẫn. Mạng lưới dịch vụ toàn cầu của chúng tôi đảm bảo thời gian phản hồi nhanh và hỗ trợ tại địa phương cho khách hàng quốc tế.