Thử nghiệm wafer 6 hoặc 8 inch

Thử nghiệm wafer 6 hoặc 8 inch của Deaote được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của thử nghiệm ở cấp độ wafer—bao gồm độ chính xác định vị dưới micron, kiểm soát lực tiếp xúc ổn định và khả năng tương thích với các loại wafer khác nhau—trạm thăm dò này tích hợp các hệ thống điều khiển chuyển động tiên tiến, công nghệ mâm cặp chân không và thiết kế chống rung để mang lại hiệu suất lặp lại, đáng tin cậy để mô tả đặc tính điện, kiểm tra tham số và kiểm tra độ tin cậy của các tấm bán dẫn.

Được xây dựng dựa trên kinh nghiệm chuyên môn hàng thập kỷ của Deaote trong lĩnh vực sản xuất khuôn mẫu chính xác và linh kiện chuyển động, trạm thăm dò thử nghiệm wafer 6 hoặc 8 inch có đế bằng đá granit cứng, ổn định nhiệt và giai đoạn XY cực kỳ chính xác, đảm bảo sự liên kết ở mức micron giữa thẻ thăm dò và khuôn wafer. Nó tương thích với nhiều loại thẻ thăm dò (dọc, đúc hẫng, MEMS) và thiết bị kiểm tra (hệ thống ATE, máy phân tích tham số), làm cho nó phù hợp cho cả R&D và thử nghiệm sản xuất khối lượng lớn chip logic, chip bộ nhớ, chất bán dẫn công suất và thiết bị quang điện tử.

Thiết kế mô-đun của trạm thăm dò thử nghiệm wafer 6 hoặc 8 inch cho phép tùy chỉnh dễ dàng để đáp ứng các yêu cầu thử nghiệm cụ thể, bao gồm các tùy chọn mâm cặp được kiểm soát nhiệt độ (-40oC đến 150oC) để thử nghiệm nhiệt độ cao/thấp, xử lý wafer tự động cho sản xuất thông lượng cao và tích hợp liền mạch với các hệ thống thu thập dữ liệu. Giải pháp của chúng tôi giúp các nhà sản xuất chất bán dẫn và phòng thử nghiệm cải thiện độ chính xác của thử nghiệm, giảm tỷ lệ sai sót và nâng cao hiệu quả thử nghiệm tổng thể.

Ưu điểm cốt lõi

1. Độ chính xác định vị dưới Micron

Được trang bị phản hồi vòng kín bộ mã hóa tuyến tính có độ phân giải cao (độ phân giải 0,05μm) và giai đoạn XY mang không khí, trạm thăm dò đạt được độ chính xác định vị lặp lại ±0,5μm và độ chính xác định vị tuyệt đối ±1μm để căn chỉnh tấm bán dẫn. Điều này đảm bảo sự tiếp xúc chính xác giữa kim đầu dò và miếng đệm bán dẫn (độ chính xác tiếp xúc ≤1μm), loại bỏ các lỗi kiểm tra do lệch trục gây ra và đảm bảo kết quả mô tả đặc tính điện đáng tin cậy.

2. Kiểm soát lực tiếp xúc ổn định

Hệ thống truyền động gốm áp điện và cảm biến lực tích hợp cho phép kiểm soát chính xác lực tiếp xúc đầu dò (0,1g đến 50g mỗi kim), với sự phân bổ lực đồng đều trên thẻ đầu dò. Điều này ngăn ngừa hư hỏng tấm wafer (trầy xước, tách lớp) và đảm bảo điện trở tiếp xúc điện ổn định, rất quan trọng đối với các ứng dụng thử nghiệm wafer công suất thấp và tần số cao.

3. Thiết kế ổn định nhiệt và chống rung

Được xây dựng bằng nền đá granit tự nhiên (hệ số giãn nở nhiệt cực thấp ≤0,5×10⁻⁶/oC) và hệ thống chống rung chủ động, trạm thăm dò giảm thiểu độ lệch vị trí do biến động nhiệt độ và rung động bên ngoài gây ra. Mâm cặp ổn định nhiệt độ (độ ổn định nhiệt độ ± 0,1oC) còn đảm bảo các điều kiện thử nghiệm nhất quán, cần thiết cho việc thử nghiệm tham số có độ chính xác cao của chất bán dẫn.

4. Khả năng tương thích và tính linh hoạt của wafer 6/8 inch

Trạm thăm dò thử nghiệm wafer 6 hoặc 8 inch hỗ trợ chuyển đổi liền mạch giữa các kích thước wafer 6 inch và 8 inch với mâm cặp chân không có thể điều chỉnh và hướng dẫn căn chỉnh wafer, không cần thay thế thiết bị cố định tùy chỉnh. Nó tương thích với nhiều loại wafer khác nhau (silicon, GaAs, SiC, GaN) và độ dày (100μm đến 775μm), thích ứng với các nhu cầu kiểm tra chất bán dẫn đa dạng (logic, bộ nhớ, thiết bị nguồn, quang điện tử).

5. Thông lượng cao và vận hành dễ dàng

Các thuật toán điều khiển chuyển động được tối ưu hóa cho phép di chuyển giai đoạn wafer nhanh (tốc độ tối đa 100mm/s) và định vị khuôn nhanh (thời gian xử lý ≤50ms), hỗ trợ thử nghiệm thông lượng cao (lên tới 2000 khuôn mỗi giờ). Màn hình cảm ứng trực quan HMI và phần mềm tương thích (giao diện GPIB, USB, Ethernet) cho phép tích hợp dễ dàng với hệ thống ATE và quy trình kiểm tra tự động, giảm thời gian đào tạo người vận hành và lỗi của con người.

6. Bảo trì thấp và tuổi thọ dài

Giai đoạn mang không khí và cơ chế truyền động không tiếp xúc giúp loại bỏ hao mòn cơ học, giảm tần suất bảo trì và kéo dài tuổi thọ sử dụng (MTBF ≥30.000 giờ). Thiết kế kèm theo với hệ thống lọc HEPA ngăn chặn bụi bẩn của tấm bán dẫn và thẻ thăm dò, trong khi cấp bảo vệ IP54 đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong môi trường phòng sạch (Lớp 1000/100).

Thông số kỹ thuật

Kịch bản ứng dụng

Được thiết kế dành riêng cho thử nghiệm tấm bán dẫn 6/8 inch, trạm thăm dò của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng thử nghiệm chất bán dẫn sau:

● Kiểm tra tham số: Đặc tính DC/AC của chip logic, chip bộ nhớ (DRAM, NAND) và chất bán dẫn công suất (MOSFET, IGBT)

● Kiểm tra độ tin cậy: Chu kỳ nhiệt độ cao/thấp, kiểm tra thử nghiệm đốt cháy và kiểm tra tuổi thọ của thiết bị bán dẫn

● Kiểm tra thiết bị quang điện tử: Kiểm tra điốt laze (LD), điốt quang (PD) và cấp độ tấm bán dẫn LED

● Thử nghiệm chất bán dẫn hỗn hợp: Thử nghiệm tấm wafer GaAs, SiC, GaN cho các thiết bị RF và nguồn

● R&D & Sản xuất hàng loạt nhỏ: Thử nghiệm nguyên mẫu và xác nhận các thiết kế bán dẫn mới

Về Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. là một doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu chuyên về R&D, sản xuất và bán khuôn mẫu chính xác, các bộ phận chuyển động có độ chính xác cao và thiết bị kiểm tra chất bán dẫn tùy chỉnh. Với hơn 15 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực sản xuất chính xác, chúng tôi phục vụ khách hàng toàn cầu trong lĩnh vực bán dẫn, điện tử và tự động hóa công nghiệp.

Trạm thăm dò thử nghiệm tấm wafer 6 hoặc 8 inch của chúng tôi tận dụng công nghệ khuôn chính xác cốt lõi và kiến ​​thức chuyên môn về điều khiển chuyển động của chúng tôi để giải quyết những thách thức đặc biệt của việc thử nghiệm tấm bán dẫn. Chúng tôi cung cấp các giải pháp trọn gói, từ thiết kế trạm thăm dò tùy chỉnh đến lắp đặt, hiệu chuẩn và hỗ trợ sau bán hàng tại chỗ, đảm bảo sản phẩm của chúng tôi đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về độ chính xác, độ tin cậy và hiệu quả.

Cam kết "Độ chính xác thúc đẩy tiến bộ, đổi mới tạo ra giá trị", Suzhou Deaote tuân thủ các hệ thống quản lý chất lượng nghiêm ngặt (được chứng nhận ISO 9001:2015) và đầu tư R&D liên tục, cung cấp các giải pháp thử nghiệm giúp khách hàng của chúng tôi duy trì khả năng cạnh tranh trong ngành bán dẫn đang phát triển nhanh chóng.