Mô-đun động cơ tuyến tính bằng đá cẩm thạch trục kép

Được xây dựng trên nền đá granit cấp 00 (được chọn vì hệ số giãn nở nhiệt thấp và đặc tính giảm rung), mô-đun động cơ tuyến tính bằng đá cẩm thạch trục kép này tích hợp hai trục động cơ tuyến tính hiệu suất cao với dẫn hướng ổ trục không khí để mang lại độ chính xác lặp lại ±0,5μm—lý tưởng cho in thạch bản bán dẫn, gia công vi mô laser, kiểm tra quang học và hệ thống đo lường chính xác.

Được thiết kế để giải quyết các hạn chế của các giai đoạn trục kép bằng nhôm hoặc thép (trôi nhiệt, rung, độ cứng thấp), mô-đun động cơ tuyến tính bằng đá cẩm thạch trục kép của chúng tôi giúp loại bỏ biến dạng cơ học khi chuyển động tốc độ cao (lên đến 2m/s trên mỗi trục) và duy trì độ chính xác nhất quán trong mọi nhiệt độ hoạt động (-10oC đến 40oC). Hệ thống điều khiển đồng bộ trục X-Y (dựa trên EtherCAT) cho phép đồng bộ hóa chuyển động ở cấp độ nanomet, rất quan trọng đối với các quy trình có độ chính xác cực cao như đóng gói chip 7nm, chế tạo thành phần vi quang và đo 3D tiên tiến.

Được sản xuất theo tiêu chuẩn chất lượng quang học ISO 9001:2015 và ISO 10110, mô-đun động cơ tuyến tính bằng đá cẩm thạch trục kép có hệ thống quản lý cáp kín, lớp phủ chống tĩnh điện và các tùy chọn tương thích chân không (để sử dụng trong phòng sạch bán dẫn). Tương thích với các bộ điều khiển chuyển động hàng đầu trong ngành (Aerotech, PI, Newport) và hệ thống đo lường (giao thoa kế laser Renishaw), nó tích hợp liền mạch vào dây chuyền sản xuất siêu chính xác, cải thiện năng suất quy trình lên tới 20% so với các giai đoạn trục kép nền kim loại thông thường.

Dòng sản phẩm

Dòng DT-GM-DX1 (Độ chính xác nhỏ gọn)

Phạm vi di chuyển X-Y: 100×100mm đến 500×500mm, độ chính xác lặp lại ±0,5μm, tốc độ tối đa 1m/s trên mỗi trục. Lý tưởng cho gia công linh kiện vi quang, đo lường chính xác, đóng gói chất bán dẫn khổ nhỏ.

Dòng DT-GM-DX2 (Tốc độ cao tầm trung)

Phạm vi di chuyển X-Y: 500×500mm đến 1000×1000mm, độ chính xác lặp lại ±1μm, tốc độ tối đa 2m/s trên mỗi trục. Thích hợp cho gia công vi mô bằng laser, sửa chữa màn hình LCD, kiểm tra quang học định dạng trung bình.

Dòng DT-GM-DX-VAC (Tương thích chân không)

Phạm vi hành trình X-Y: 100×100mm đến 800×800mm, độ chính xác lặp lại ±0,5μm, định mức chân không 10⁻⁶ mbar. Được thiết kế cho các ứng dụng phòng sạch bán dẫn, lớp phủ chân không và hệ thống mô phỏng không gian.

Ưu điểm cốt lõi

1. Đế đá granite 00 cấp cho độ ổn định vượt trội

Được chế tạo từ đá granit loại 00 tự nhiên (hệ số giãn nở nhiệt ≤0,5×10⁻⁶/oC), đế mang lại độ ổn định nhiệt đặc biệt (≤0,001mm/oC) và giảm rung (giảm 80% rung động tần số cao). Điều này giúp loại bỏ hiện tượng trôi nhiệt và cộng hưởng cơ học—các vấn đề thường gặp với các giai đoạn dựa trên kim loại—trong các quy trình sản xuất siêu chính xác.

2. Độ chính xác dưới Micron với Thanh dẫn hướng Ổ trục Không khí

Dẫn hướng tuyến tính ổ bi tích hợp (thay vì ổ bi truyền thống) loại bỏ ma sát và mài mòn, đạt được độ chính xác định vị lặp lại ±0,5μm và độ phân giải 1nm (thông qua bộ mã hóa tuyệt đối Renishaw). Thiết kế không tiếp xúc đảm bảo hoạt động không cần bảo trì trong hơn 100 triệu chu kỳ, rất quan trọng đối với hoạt động sản xuất có độ chính xác cực cao với khối lượng lớn.

3. Điều khiển chuyển động đồng bộ trục X-Y

Điều khiển chuyển động thời gian thực dựa trên EtherCAT cho phép đồng bộ hóa ở cấp độ nanomet giữa trục X và Y (lỗi đồng bộ hóa 50nm), hỗ trợ các cấu hình chuyển động phức tạp (nội suy tròn, quét xoắn ốc) cần thiết cho vi gia công laser và tạo khuôn quang học. Kiến trúc mở tương thích với phần mềm chuyển động của bên thứ ba (LabVIEW, MATLAB).

4. Độ cứng cao và biến dạng thấp

Cấu trúc đá granit được gia cố với gân tích hợp mang lại độ cứng ≥300N/μm, giảm thiểu độ võng dưới tải trọng động (lên tới 50kg mỗi trục). Độ ổn định này đảm bảo độ chính xác nhất quán ngay cả khi tăng tốc tốc độ cao (1g), giảm sự biến đổi của quy trình và cải thiện năng suất sản phẩm.

5. Có thể tùy chỉnh cho các ứng dụng siêu chính xác

Tùy chỉnh hoàn toàn phạm vi di chuyển (100×100mm đến 1000×1000mm), độ phân giải bộ mã hóa (1nm đến 1μm), khả năng tương thích chân không (10⁻³ đến 10⁻⁶ mbar) và độ hoàn thiện bề mặt (Ra 0,02μm). Các tính năng tùy chọn bao gồm lớp phủ chống tĩnh điện, vật liệu tương thích với phòng sạch và giao thoa kế laser tích hợp để hiệu chuẩn tại chỗ.

6. Độ tin cậy cấp công nghiệp khi sử dụng trong phòng sạch

Cấp bảo vệ IP67 (tiêu chuẩn) / IP68 (phiên bản chân không), lớp phủ chống tĩnh điện (10⁶-10⁹ Ω/sq) và mức phát thải hạt thấp (tuân thủ phòng sạch Loại 1) khiến nó phù hợp với các nhà máy bán dẫn và phòng sạch sản xuất quang học. MTBF ≥40.000 giờ khi hoạt động liên tục, giảm tổng chi phí sở hữu (TCO) xuống 30% trong 5 năm.

Thông số kỹ thuật

Đế đá granit (Cấp 00) ± 0,5μm Độ chính xác định vị lặp lại Chuyển động đồng bộ trục X-Y Độ ổn định nhiệt (.001mm/oC) Độ cứng cao ( ≥300N/μm)

Kịch bản ứng dụng

Mô-đun động cơ tuyến tính bằng đá cẩm thạch trục kép của Deaote được thiết kế để sản xuất siêu chính xác trên các lĩnh vực công nghệ cao toàn cầu:

● Chất bán dẫn & Vi điện tử: Đóng gói chip 7nm/5nm, kiểm tra tấm bán dẫn, căn chỉnh in thạch bản, chế tạo thiết bị MEMS

● Sản xuất quang học: Gia công linh kiện vi quang học (thấu kính, lăng kính), lắp ráp mảng sợi quang, tạo mẫu bằng laser trên nền thủy tinh

● Đo lường chính xác: đo quang học 3D, các giai đoạn chuyển động của máy đo tọa độ (CMM), định hình bề mặt ở cấp độ nanomet

● Gia công vi mô bằng Laser: Cắt bỏ bằng laser, khoan vi mô, khắc chính xác trên vật liệu cứng (silicon, sapphire, gốm)

● Hàng không vũ trụ & Quốc phòng: Sản xuất vi cảm biến, hiệu chỉnh thành phần dẫn đường quán tính, lắp ráp hệ thống quang học vệ tinh

Về Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. là một doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu chuyên về R&D, sản xuất và bán các bộ phận chuyển động siêu chính xác—tập trung vào các mô-đun động cơ tuyến tính làm bằng đá granite cho các thị trường bán dẫn, quang học và hàng không vũ trụ toàn cầu. Với hơn 15 năm kinh nghiệm về khuôn mẫu chính xác và thiết kế hệ thống chuyển động siêu chính xác, chúng tôi phục vụ khách hàng trên khắp Châu Âu, Bắc Mỹ, Nhật Bản và Hàn Quốc trong các lĩnh vực sản xuất cao cấp.

Mô-đun động cơ tuyến tính bằng đá cẩm thạch trục kép của chúng tôi được phát triển trong phòng thí nghiệm R&D chuyển động siêu chính xác chuyên dụng của chúng tôi, tận dụng công nghệ gia công đá granit tiên tiến (dung sai ± 0,001mm), hiệu chuẩn bằng laser và công nghệ lắp ráp ổ trục không khí để đạt được độ chính xác dưới micron. Chúng tôi cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh toàn diện—từ thiết kế mô-đun và tạo mẫu đến hiệu chuẩn tại chỗ và hỗ trợ kỹ thuật toàn cầu—đảm bảo các giải pháp của chúng tôi đáp ứng các yêu cầu đặc biệt của dây chuyền sản xuất siêu chính xác.

Cam kết "Độ chính xác ở cấp độ nanomet, Độ ổn định trọn đời", Deaote đầu tư 20% doanh thu hàng năm vào R&D để phát triển các giải pháp chuyển động siêu chính xác thế hệ tiếp theo. Cơ sở sản xuất và mạng lưới dịch vụ toàn cầu được chứng nhận ISO 9001:2015 và ISO 10110 của chúng tôi đảm bảo thời gian phản hồi nhanh (dưới 48 giờ) và hỗ trợ kỹ thuật tại địa phương, giúp chúng tôi trở thành đối tác đáng tin cậy của các nhà sản xuất thiết bị siêu chính xác cao cấp trên toàn thế giới.